激光避障雷達(dá) AS-33C系列
 

場景需求：

此工位位于硅片氧化工藝前端運料工序，激光雷達(dá)安裝在將硅片花籃運送到后氧化機上料處的AGV小車上，前后各安裝一個，起到避障作用，要求檢測2米以內(nèi)的障礙物，要求響應(yīng)速度在80ms以內(nèi)

項目難點：

1. 車間環(huán)境較為復(fù)雜，使得設(shè)備需要適應(yīng)人機混行、多車混行的工作場景

2. 需具備設(shè)備自檢及異常報警功能

解決方案：

1. 明治AS-33C系列為避障型激光雷達(dá)，采用TOF測量原理，避障性能穩(wěn)定；3個避障區(qū)域設(shè)定，滿足車輛運行，減速，停止三個狀態(tài)，檢測精度±2cm

2. 可對270°范圍進(jìn)行精準(zhǔn)測量，在AGV小車前后各安裝一個，使得設(shè)備避障無盲區(qū)

3. 具備自檢功能，可檢測激光雷達(dá)本身性能是否異常，避免出現(xiàn)意外故障的情況下設(shè)備仍進(jìn)行運作從而造成不良后果
 

場景需求：

需要在防護門上安裝傳感器來檢測門是否關(guān)緊，檢測距離要求7.5mm，檢測重復(fù)精度0.1mm以內(nèi)

解決方案：

1.為埋入型電感式方型接近，腰型安裝孔，安裝簡單

2.檢測距離最高為8mm，使用M18螺紋安裝，節(jié)省空間
 

場景需求：

防止機械手抓取硅片過程中人員誤入設(shè)備工作區(qū)域?qū)е聜Γ箜憫?yīng)時間小于20ms，檢測穩(wěn)定

解決方案：

1.采用明治經(jīng)濟型光幕BKL系列，有多種光軸間距和光軸數(shù)可供選擇，包括10mm，20mm，40mm，這里需要保護人體，我們推薦選擇40mm光軸間距

2.響應(yīng)時間快速，小于10ms，一旦人體進(jìn)入立刻發(fā)送信號驅(qū)動機器暫停，起到保護人體的作用

3.抗光干擾能力較強，最大能承受10000lux干擾，不受現(xiàn)場其他雜光干擾
 

場景需求：

此工位位于硅片氧化工藝中，接收機械手運送的物料，對硅片堆疊高度有要求，需要在物料堆疊到指定高度后停止堆疊；檢測距離250mm，有LED照明燈，環(huán)境光照較強，會對傳感器造成干擾，要求響應(yīng)時間小于1ms，另外客戶對于檢測精度要求高，需要重復(fù)精度小于0.5mm，于此同時，此設(shè)備還會生產(chǎn)多種類型的硅晶片，要求一款傳感器可以兼容所有產(chǎn)品

項目難點：

對傳感器抗光干擾能力有較高的要求，需要能同時抵抗住硅片的高反光和周圍強光的干擾

解決方案：

1. 使用兩個背景抑制型光電傳感器ESB-B30N系列平行安裝于硅片堆疊限位高度上下，不受背景顏色影響，可以保證多種類型硅晶片的檢測兼容

2. 傳感器檢測距離可以達(dá)到250mm，在此場景下可滿足客戶需求，檢測距離可調(diào)，可通過頂部旋鈕調(diào)節(jié)，安裝調(diào)試方便

3. 響應(yīng)時間小于1ms ，可在穩(wěn)定檢測的同時保證檢測效率，光斑小檢測精度高                                                

4. 抗光干擾能力較強，陽光照射可達(dá)到10000lux，白熾燈照射可達(dá)到3000lux，抗雜光干擾能力強，不受機械手下方的地板面、設(shè)備的金屬面、門窗的玻璃面等環(huán)境及硅片反光干擾

5. 傳感器可零距離并排安裝，近距離并排安裝不會發(fā)生相互干擾的狀況